超净间
的有关信息介绍如下:超净间(Clean Room),也称为无尘室或清净室。「超净间」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而给予特别设计的房间。不论外在空气条件如何变化,其室内均能维持原先所设定的洁净度、温湿度及压力等性能。 超净间最主要作用是控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度,使用户能在一个良好的环境空间中生产、制造产品,此空间我们称之为「超净间」。
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